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高真空插板阀组成及原理

在真空系统中,高真空插板阀用来切断或接通管路气流,按其结构原理可分为滚珠胀紧型与平行四边形运动机构撑开型。本文的研究对象ZBS-800 高真空插板阀为滚珠胀紧型,滚珠胀紧方式的高真空插板阀主要由阀体(阀壳、阀盖、密封圈)、阀板组件(胀紧滚珠、密封阀板、承压阀板、板簧、保持架、导向轮)、驱动部分(曲柄连杆机构、气缸、机械到位开关)等部件组成,具体结构原理图如图1 所示。
ZBS-800 型插板阀是一种双向密封阀,在正向或反向抽真空时,密封阀板两面形成0 至1 大气压压差,均能达到真空密封,压差作用在密封阀板上的力,无论压差方向如何,均自动增强O型胶圈的密封力。阀门开启时,驱动杆向后运动,滚珠进入阀板凹坑,板簧使两个阀板离开阀座,紧压在保持架两侧平面上,阀板随保持架移动。阀门关闭时,驱动杆向前移动,当阀板前进到位,顶块接触阀壳后,保持架继续移动,将滚珠推出凹坑,阀板压向阀座,达到真空密封,此时属于静态密封结构。
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